第73章 不对（2 / 3）

就在这令人窒息的沉默中，一个平静的声音突然响起：

“他那个数据不对。”

三个人齐刷刷转头，看向声音的来源。

肖宿不知何时已经拉过一把椅子坐下，正盯着周宇轩电脑屏幕上定格的那个画面。

那是佐藤健一郎演讲中的一张关键幻灯片，展示着他那套“正则化框架”的核心公式和一组验证数据。

屏幕上密密麻麻的数学符号对普通人而言如同天书，但肖宿的眼睛却紧紧盯着其中一行不起眼的数据标识。

“什么不对？”

周宇轩愣愣地问。

肖宿没有立即回答。

他微微眯起眼睛，身体前倾，手指无意识地在空中虚划着，仿佛在重复某个计算过程。

陈林、林思源和周宇轩三人面面相觑，谁也不敢出声打扰肖宿的思考。

他们太熟悉肖宿这个状态了，这是他在深度思考数学问题时的专注模样。

平时肖宿虽然话不多，但一旦进入这种状态，就意味着他发现了什么值得深究的东西。

过了一会儿，肖宿才缓缓开口，声音依然平静，却带着某种确定的意味：

“他展示的第三组验证数据，光刻胶收缩率的修正系数，给的是0.47。”

肖宿顿了顿，似乎在组织语言，让非专业的室友也能理解：

“在euv光刻中，光刻胶受曝光后会发生收缩，这个收缩率需要精确补偿，否则图案会失真。佐藤的框架里，有一个专门的修正项来处理这个问题。”

“他给出的数据是，在5纳米节点下，经过他的正则化框架优化后，收缩率修正系数可以稳定在0.47，波动范围小于±0.02。”

周宇轩听得云里雾里：“所以呢？这个数字有什么问题？”

肖宿转过头，看着三位室友。

他的眼神清澈而专注。

“问题在于，”肖宿缓缓说道，“根据他前面给出的光学模型参数和材料特性数据，通过标准的波动方程和热传导耦合计算，收缩率修正系数不可能低于0.52。”

“他给出的0.47，比理论下限还低了10%。”

肖宿的话音刚落，宿舍里的沉闷瞬间被打破，取而代之的是一种压抑不住的躁动。

周宇轩拍着大腿，差点把椅子带倒，语气里满是狂喜，又带着点急不可耐：

“肖哥！你这话是认真的？也就是说，那佐藤健一郎可能是在吹牛皮，数据都是瞎编的？”

陈林也反应过来，他虽然不是光刻专业的，但扎实的